System wykrywający wycieki helu w komorze próżniowej dla części półprzewodnikowych / uszczelnienia

System detekcji nieszczelności helem w komorze próżniowej dla komponentów/uszczelnień półprzewodnikowych

Wprowadzenie do systemu detekcji nieszczelności helem

Służy do wykrywania nieszczelności w komponentach/uszczelnieniach elektronicznych. Rozwiązanie składa się ze zbiornika helu pod ciśnieniem, zbiornika detekcyjnego i detektora nieszczelności z masowym spektrometrem helu.

Cechy systemu detekcji nieszczelności helem

1. Unikalna konstrukcja obwodu gazowego poprawia prędkość pompowania helu, skraca czas tła czyszczenia helu i skutecznie zapobiega zanieczyszczeniu helem;

2. Minimalna wykrywalna szybkość wycieku jest niska, czułość wysoka, a zakres detekcji może sięgać poziomu 12;

3. Inteligentne funkcje wskazywania i alarmowania o usterkach.

Skład systemu detekcji nieszczelności helem

Rozwiązanie składa się ze zbiornika helu pod ciśnieniem, zbiornika detekcyjnego i detektora nieszczelności z masowym spektrometrem helu. Komponenty elektroniczne lub uszczelnienia umieszcza się w zbiorniku helu pod ciśnieniem, gaz helu o określonym stężeniu

Zastosowanie produktu

Przemysł półprzewodnikowy, komponenty/uszczelnienia