Certyfikowana przez CE próżniowa maszyna wykrywająca wycieki helu dla przemysłu półprzewodnikowego

Detektor wycieku helu SFJ-16M

Wskaźniki wydajności






 

Minimalna wykrywalna częstotliwość wycieku
(Pa·m)³/s) / tryb próżniowy

Tryb próżni (ULTRA):5.0 × 10^-13 Pa·m³/s(prędkość pompowania helu > 5 l/s)
Tryb próżniowy (FINE):1.0 × 10^-12 Pa·m³/s(prędkość pompowania helu 2,5 l/s)

Minimalna wykrywalna częstotliwość wycieku
(Pa·m3/s) / tryb węszącego

5.0 × 10^-8Pa·m³/s

Czas reakcji (s)

< 1

Czas uruchomienia (min)

≤ 95 s

Zakres wykrywania wycieków
(Pa·m)³/s)

5.0 × 10^-13~ 1,0 x 10^-3Pa·m³/s

Zakres wyświetlania prędkości przecieku
(Pa·m)³/s)

1.0 × 10^-13~ 1,0 x 10^-3 Pa·m³/s

Maksymalne dopuszczalne ciśnienie wykrywania przecieków ((Pa)

1500

Jakość wykrywalna

2,3,4 ((H2, He3, He4)

Podstawowa konfiguracja










 

Interfejs człowiek-maszyna

5 "kolorowy LCD Touch Screen

Źródło jonowe

2 sztuky, oksydu jttrium powlekany irydem, automatyczne przełączanie

Interfejs wejścia/wyjścia

Osiem wejścia i osiem wyjścia

Interfejs komunikacji

RS232/485, LAN

Interfejs MES

Standardowy

Fizyczny rozmiar przyrządu
(W) ×(D) ×(H), mm

592 * 498 * 370 mm

Specyfikacje portu wykrywania przecieków

DN16 KF/2 sztuk

Zasilanie

DC24V

Temperatura pracy

0-40oC

Władza

240 W

Język wyświetlania

Zarówno chiński, jak i angielski.

Wyświetlacz wskaźnika wycieku

Rysunek, wykres kreskowy, wykres krzywej